精密油槽 |
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“精密油槽”参数说明
“精密油槽”详细介绍
对半导体制造装置发热部的冷却:单晶片洗净转载、印刷机、自动夹座安装装置、喷涂装置、离子镀装置、蚀刻装置、单晶片处理装置、切片机、包装机、显影剂的温度管理、露光装置、生磁部分的加热装置等。
高精度恒温油槽产品特点: 节约能源--在夏季和高环境温度下,冷却水可在系统回路中循环使用,节约大量的水资源。 效率更高--一台循环水设备可同时满足多台外部设备的冷却需求,持续提供低温恒温水源,适用于冷凝实验。 控温精度--PID控温技术,内置PT100传感器,控温精度高,温度数字显示,操作直观 安全性高――具有自我诊断功能;冷冻机过载保护等多种安全保障功能。 低温不冻液配比 A乙二醇水溶液:乙二醇/水 55/45(-30℃),70/30(-40℃) B丙三醇水溶液:丙三醇/水 70/30(-30℃)使用中需经常检查低温不冻液的密度使其满足如下要求:1.乙二醇水溶液:P20=1079㎏/m3(-30℃)(-40℃)2.丙三醇水溶液:P20=1182.6㎏/m3(-30℃)不冻液用水代替时,其最低温度必须在0℃以上。
“精密油槽”其他说明
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